| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2008-02-05 |
| タイトル |
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タイトル |
大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究 : 第2報, 0.1nm分解能と25mm広域走査の両立 |
| タイトル |
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タイトル |
Atomic Force Microscope for Large Size Sample : 2nd Report, 0.1nm Resolution and 25mm-area Scanning |
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言語 |
en |
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言語 |
jpn |
| その他のタイトル |
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その他のタイトル |
Atomic Force Microscope for Large Size Sample : 2nd Report, 0.1nm Resolution and 25mm-area Scanning |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Atomic Force Microscopy |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Scanning Mechanism |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Piezoelectric Device |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Static Pressure Guide |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Friction Guide |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Semiconductor Wafer |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
AFM |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| 著者 |
村山, 健
国友, 裕一
森本, 高史
保坂, 純男
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
We have developed a new AFM (Atomic force microscopy) for semiconductor device evaluation with high resolution of 0.1nm and wide-area measuring function to 25mm area using two scanning mechanisms, a piezoelectric XY scanner of 10μm stroke combined with an on-axis optical microscope and an ultra-flat XY stage of 200mm stroke moving on a reference plane with a static pressure guide or a contact friction guide switched to non-pressure. We demonstrated three operations, high-resolution mode with the piezoelectric scanner on the friction guide condition, middle-area mode from 5μm to 1mm area with the static pressure guide and 25mm wide-area mode with the friction guide. Finally, an atomic step of 0.3nm height, CMP (Chemical Mechanical Polishing) samples with 2-10mm measurement area and the flatness accuracy of 30nm/25mm were measured in one AFM. |
| 書誌情報 |
日本機械学會論文集. C編
巻 72,
号 717,
p. 1538-1543,
発行日 2006-05-25
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0387-5024 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN00187463 |
| 権利 |
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権利情報 |
日本機械学会 |
| 権利 |
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権利情報 |
本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 出版者 |
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出版者 |
日本機械学会 |
| 資源タイプ |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Journal Article |
| 異版である |
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関連タイプ |
isVersionOf |
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識別子タイプ |
URI |
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関連識別子 |
http://ci.nii.ac.jp/naid/110004738290/ |
| 更新日 |
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日付 |
2017-03-27 |
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日付タイプ |
Created |
C72_1538.pdf (827.7 kB)
