WEKO3
アイテム
ステッピングモータで駆動される3自由度半導体ウエハ搬送ロボットアームの軌道追従制御と誤差解析
http://hdl.handle.net/10087/2821
http://hdl.handle.net/10087/28218de5663d-2114-4471-89f9-4f15bff6779d
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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C72_2008.pdf (576.3 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2008-02-05 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ステッピングモータで駆動される3自由度半導体ウエハ搬送ロボットアームの軌道追従制御と誤差解析 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Trajectory Tracking Control and Error Analysis of Three-Link Semiconductor Wafer Transfer Robot Arm Driven with Stepping Motors | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Trajectory Tracking Control and Error Analysis of Three-Link Semiconductor Wafer Transfer Robot Arm Driven with Stepping Motors | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Mechatronics and Robotics | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Manipulator | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Actuator | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Motion Control | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Measurement | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Stepping Motor | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Semiconductor Wafer Transfer | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Robot | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Trajectory Tracking Control | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Error Analysis | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
小島, 宏行
× 小島, 宏行× 千木良, 英幸× 桑野, 好文× 阿部, 慶一× 菊地, 範芳 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | This study deals with the trajectory tracking control of a three-degree-of-freedom semiconductor wafer transfer robot arm driven hybrid stepping motors. The desired trajectory of the end of the robot is set to be a straight line, and the desired posture of the third link is constant. The high-precision control of the hybrid stepping motor is executed with the microstep drive technique. The desired joint angle is obtained by the microstep technique and the trajectory planning method based on the inverse kinematics. From the numerical calculation results and the experimental results, it is confirmed that the trajectory tracking control of the three-degree-of-freedom semiconductor wafer transfer robot arm can be successfully executed by the present high-precision control system with microstep drive technique. Furthermore, the error of the end of the robot arm is theoretically investigated. | |||||
| 書誌情報 |
日本機械学會論文集. C編 巻 72, 号 719, p. 2008-2014, 発行日 2006-07-25 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0387-5024 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00187463 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 日本機械学会 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | 本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 日本機械学会 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Journal Article | |||||
| 異版である | ||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://ci.nii.ac.jp/naid/110004762077/ | |||||
| 更新日 | ||||||
| 日付 | 2017-03-27 | |||||
| 日付タイプ | Created | |||||
