| Item type |
学術雑誌論文 / Journal Article(1) |
| 公開日 |
2008-02-05 |
| タイトル |
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タイトル |
大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究 : 第1報, 粗微動併用XYステージの応用 |
| タイトル |
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タイトル |
Atomic Force Microscope for Large Size Sample : 1st Report, Application of Coarse-Fine Positioning Mechanisms in AFM |
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言語 |
en |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| その他のタイトル |
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その他のタイトル |
Atomic Force Microscope for Large Size Sample : 1st Report, Application of Coarse-Fine Positioning Mechanisms in AFM |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Atomic Force Microscopy |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Si Wafer |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Coarse-fine Positioning |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Topography |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
Sample Scanning |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 |
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資源タイプ |
journal article |
| 著者 |
村山, 健
長澤, 潔
森本, 高史
保坂, 純男
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| 抄録 |
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内容記述タイプ |
Abstract |
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内容記述 |
We have developed a new type AFM (Atomic force microscopy) for semiconductor wafer testing with coarse-fine movement mechanisms, coarse XY stage and fine xy scanner. XY scanner was used both sample positioning and AFM scanning, A unique birds-beak type z-scanner was designed to be constructed with an optical microscope. Firstly we examined basic characteristics of each positioning mechanisms, 20mm positioning with coarse-fine control in 0.25s, 2nm step moving with xy scanner. Secondary the resolution of the AFM system with 0.3nm and the frequency response with 1kHz in AFM operation were measured. Finally as AFM observations, a compact disc surface and bare-Si surface of 0.19nm Ra were clearly measured. We confirmed the usefulness of the new AFM mechanism. |
| 書誌情報 |
日本機械学會論文集. C編
巻 72,
号 720,
p. 2507-2511,
発行日 2006-08-25
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
0387-5024 |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AN00187463 |
| 権利 |
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権利情報 |
日本機械学会 |
| 権利 |
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権利情報 |
本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである |
| 権利 |
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権利情報 |
本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである |
| フォーマット |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
application/pdf |
| 著者版フラグ |
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出版タイプ |
VoR |
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出版タイプResource |
http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 |
| 出版者 |
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出版者 |
日本機械学会 |
| 資源タイプ |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Journal Article |
| 異版である |
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関連タイプ |
isVersionOf |
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識別子タイプ |
URI |
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関連識別子 |
http://ci.nii.ac.jp/naid/110004762145/ |
| 更新日 |
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日付 |
2017-03-27 |
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日付タイプ |
Created |
C72_2507.pdf (539.6 kB)
