WEKO3
アイテム
チオフェンを原料とする硫黄ドープアモルファス炭素薄膜のCVD合成
http://hdl.handle.net/10087/5839
http://hdl.handle.net/10087/5839f5805975-172d-4406-94cb-5126a78c593b
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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NSK111_133.pdf (452.0 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2010-12-20 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | チオフェンを原料とする硫黄ドープアモルファス炭素薄膜のCVD合成 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Photo-Catalytic and Photo-Conductive Properties of SiO_2/TiO_2 Multilayer Film Prepared by Vacuum-Deposition Method(<Special Issue>Ceramics Integration) | |||||
| 言語 | en | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Photo-Catalytic and Photo-Conductive Properties of SiO_2/TiO_2 Multilayer Film Prepared by Vacuum-Deposition Method(<Special Issue>Ceramics Integration) | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Amorphous carbon thin films | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Sulfur doping | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Thiophene | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Plasma CVD | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Self-bias method | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
平出, 孝夫
× 平出, 孝夫× 小野, 章夫× 伏木, 徹× 竹澤, 信隆× 黒田, 真一× 吉本, 護× 山田, 秀雄 |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | Amorphous carbon thin films containing sulfur were synthesized from thiophene (C_4H_4S) by the r.f. (13.56 MHz) plasma CVD. The r.f. power was applied intermittently to control the deposition temperature (T_d). While maintaining a constant r.f. power (200 W) and reactive pressure (13.3 Pa), we investigated the effect of T_d on the film chemical structures and properties: specifically microroughness, density, microhardness and internal stress. The deposition rate and microroughness of the films decreased with increasing T_d, while the film density, microhardness and internal stress increased with increasing T_d. X-ray photoelectron spectroscopic (XPS) analysis indicated that S/C ratio of the films remained constant and has no connection with T_d. XPS and Raman spectroscopic analyses showed that the films were composed of two kinds of microdomains with sp^3 and sp^2 bonds similar to the diamond-like carbon (DLC) film. Sulfur incorporation into the film significantly reduced the internal stress. | |||||
| 書誌情報 |
日本セラミックス協会学術論文誌 : Nippon Seramikkusu Kyokai gakujutsu ronbunshi 巻 111, 号 1290, p. 133-136, 発行日 2002-05-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 09145400 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN10040326 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 日本セラミックス協会 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Journal Article | |||||
| 更新日 | ||||||
| 日付 | 2017-03-27 | |||||
| 日付タイプ | Created | |||||
