WEKO3
アイテム
Nanosilicon dot arrays with a bit pitch and a track pitch of 25 nm formed by electron-beam drawing and reactive ion etching for 1 Tbit/in.2 storage
http://hdl.handle.net/10087/2946
http://hdl.handle.net/10087/29469b0d9c89-d282-4cac-8591-51a0beee5872
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
ApplPhysLett_89_223131.pdf (322.0 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2008-02-29 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Nanosilicon dot arrays with a bit pitch and a track pitch of 25 nm formed by electron-beam drawing and reactive ion etching for 1 Tbit/in.2 storage | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
Hosaka, Sumio
× Hosaka, Sumio× Sano, Hirotaka× Shirai, Masumi× Sone, Hayato |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | The formation of very fine Si dots with a bit pitch and a track pitch of less than 25 nm using\nelectron-beam (EB) lithography on ZEP520 and calixarene EB resists and CF4 reactive ion etching\nhas been demonstrated. The experimental results indicate that the calixarene resist is very suitable\nfor forming an ultrahigh-packed bit array pattern of Si dots. This result promises to open the way\ntoward 1 Tbit/in.2 storage using patterned media with a dot size of <15 nm. | |||||
| 書誌情報 |
Applied Physics Letters 巻 89, 号 23, p. 223131-1-223131-3, 発行日 2006-11-27 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0003-6951 | |||||
| DOI | ||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | info:doi/10.1063/1.2400102 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | (C)2006 American Institute of Physics | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | American Institute of Physics | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Journal Article | |||||
| 異版である | ||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://apl.aip.org/ | |||||
| 更新日 | ||||||
| 日付 | 2017-03-27 | |||||
| 日付タイプ | Created | |||||
