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アイテム
Spectroscopic characterization of naturally and chemically oxidized silicon surfaces
http://hdl.handle.net/10087/2939
http://hdl.handle.net/10087/29394909819e-1f5e-4de3-b07e-b51d34b0944d
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
JApplPhys_94_5613.pdf (62.9 kB)
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| Item type | 学術雑誌論文 / Journal Article(1) | |||||
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| 公開日 | 2008-02-29 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Spectroscopic characterization of naturally and chemically oxidized silicon surfaces | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | journal article | |||||
| 著者 |
Tsunoda, Kazuaki
× Tsunoda, Kazuaki× Ohashi, Emiko× Adachi, Sadao |
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| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | We have determined the thicknesses of naturally and chemically grown oxides on HF-cleaned\nsilicon surfaces in ambient air and in NH4OH/H2O2/H2O solution, respectively, using spectroscopic\nellipsometry. The naturally grown oxide thickness versus air-exposure time plots yield a rate\nconstant of 3.5+-0.5 Å/decade in ambient air. Chemical oxidation occurs immediately upon\nimmersing the sample in the chemical solution and leaves the sample surface terminated with ～6 Å\nof a chemical oxide. Photoreflectance intensity is found to be strongly dependent on such surface\nprocessing, and results are explained by the different degree of surface (interface) states. | |||||
| 書誌情報 |
Journal of Applied Physics 巻 94, 号 9, p. 5613-5616, 発行日 2003-11-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0021-8979 | |||||
| DOI | ||||||
| 関連タイプ | isIdenticalTo | |||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | info:doi/10.1063/1.1613792 | |||||
| 権利 | ||||||
| 権利情報 | (C)2003 American Institute of Physics | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | American Institute of Physics | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Journal Article | |||||
| 異版である | ||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||
| 識別子タイプ | URI | |||||
| 関連識別子 | http://jap.aip.org/ | |||||
| 更新日 | ||||||
| 日付 | 2017-03-27 | |||||
| 日付タイプ | Created | |||||
