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  1. 50 工学研究科
  2. 5006 電気電子工学専攻
  3. 学術雑誌論文

Properties of GaP(001) surfaces chemically treated in NH4OH solution

http://hdl.handle.net/10087/2942
http://hdl.handle.net/10087/2942
fd19b531-93ba-478f-a811-0e98edf83867
名前 / ファイル ライセンス アクション
JApplPhys_100_054904.pdf JApplPhys_100_054904.pdf (139.5 kB)
Item type 学術雑誌論文 / Journal Article(1)
公開日 2008-02-29
タイトル
タイトル Properties of GaP(001) surfaces chemically treated in NH4OH solution
言語
言語 eng
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ journal article
著者 Morota, Hiroaki

× Morota, Hiroaki

Morota, Hiroaki

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Adachi, Sadao

× Adachi, Sadao

Adachi, Sadao

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抄録
内容記述タイプ Abstract
内容記述 Chemically cleaned GaP(001) surfaces in 25% NH4OH solution have been studied using\nspectroscopic ellipsometry (SE), ex situ atomic force microscopy (AFM), x-ray photoelectron\nspectroscopy (XPS), and wettability measurement techniques. The SE data clearly indicate that the\nsolution causes removal of the native oxide film immediately upon immersing the sample. The SE\ndata also indicate that when the native oxide film is completely etch removed, the resulting surface\nis still roughened. The estimated roughness thickness is ~1.2 nm, in excellent agreement with the\nAFM rms value (~1.2 nm). The XPS spectra confirm the removal of the native oxide from the GaP\nsurface. The XPS data also suggest a thin oxide overlayer, ~0.3 nm thick, on the etch-cleaned GaP\nsurface. The wettability measurements indicate that the as-degreased surface is hydrophobic, while\nthe NH4OH-cleaned surface is hydrophilic. This result is in direct contrast to those obtained from\nacid cleaned surfaces, which are usually hydrophobic. The origin of hydrophilicity may be singular\nand associated hydroxyl groups bonded on the GaP surface.
書誌情報 Journal of Applied Physics

巻 100, 号 5, p. 054904-1-054904-6, 発行日 2006-09-01
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0021-8979
DOI
関連タイプ isIdenticalTo
識別子タイプ DOI
関連識別子 info:doi/10.1063/1.2337386
権利
権利情報 (C)2006 American Institute of Physics
フォーマット
内容記述タイプ Other
内容記述 application/pdf
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
出版者
出版者 American Institute of Physics
資源タイプ
内容記述タイプ Other
内容記述 Journal Article
異版である
関連タイプ isVersionOf
識別子タイプ URI
関連識別子 http://jap.aip.org/
更新日
日付 2017-03-27
日付タイプ Created
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Ver.1 2023-06-19 12:58:35.647999
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