WEKO3
アイテム
スパッタリング法を用いた光機能性酸化物薄膜の作製と評価に関する研究
http://hdl.handle.net/10087/8450
http://hdl.handle.net/10087/845091a87db8-5f4f-4e5b-8863-b9f143206cf9
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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11801625.pdf (6.7 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2014-05-16 | |||||
| 著者 |
鈴木, 鉄人
× 鈴木, 鉄人 |
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| タイトル | ||||||
| タイトル | スパッタリング法を用いた光機能性酸化物薄膜の作製と評価に関する研究 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | スパッタリング法 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 光機能性酸化物薄膜 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 作製 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 評価 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 修士論文 | |||||
| 書誌情報 | p. 1-76, 発行日 2013-03 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 群馬大学工学研究科 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Thesis or Dissertation | |||||
| 更新日 | ||||||
| 値 | 2017-03-27 | |||||
