WEKO3
アイテム
時間・空間分解能制約を考慮した制御系設計による精密ステージの制御
http://hdl.handle.net/10087/8700
http://hdl.handle.net/10087/870081fbb395-eab1-4c74-b631-51be35292991
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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10801678.pdf (1.3 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-07-04 | |||||
| 著者 |
陳, 増銀
× 陳, 増銀 |
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| タイトル | ||||||
| タイトル | 時間・空間分解能制約を考慮した制御系設計による精密ステージの制御 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 時間 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 空間 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 分解 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 制御系設計 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 精密ステージ | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 著者(ヨミ) | ||||||
| 姓名 | チン, ゾウギン | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 修士論文 | |||||
| 書誌情報 | p. 1-69, 発行日 2012-03 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 群馬大学工学研究科 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Thesis or Dissertation | |||||
| 更新日 | ||||||
| 値 | 2017-03-27 | |||||
