WEKO3
アイテム
粉末ターゲットを用いたRFスパッタ法によるGa-NドープZnO薄膜の特性
http://hdl.handle.net/10087/8708
http://hdl.handle.net/10087/87089486330f-b86f-4d6b-8407-e3d74ea7dd0f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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12801605.pdf (3.3 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2014-07-11 | |||||
| 著者 |
石田, 拓也
× 石田, 拓也 |
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| タイトル | ||||||
| タイトル | 粉末ターゲットを用いたRFスパッタ法によるGa-NドープZnO薄膜の特性 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 粉末ターゲット | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | RFスパッタ法 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 薄膜 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 修士論文 | |||||
| 書誌情報 | p. 1-56, 発行日 2014-03 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 群馬大学工学研究科 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Thesis or Dissertation | |||||
| 更新日 | ||||||
| 値 | 2017-03-27 | |||||
