WEKO3
アイテム
反応性スパッタ法によるZn3N2薄膜の作製とその特性評価
http://hdl.handle.net/10087/8726
http://hdl.handle.net/10087/872601587f46-a27f-4a2c-a9c2-7828977039b5
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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12801630.pdf (1.5 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2014-07-14 | |||||
| 著者 |
設楽, 知彰
× 設楽, 知彰 |
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| タイトル | ||||||
| タイトル | 反応性スパッタ法によるZn3N2薄膜の作製とその特性評価 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 反応性スパッタ法 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Zn3N2薄膜 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 修士論文 | |||||
| 書誌情報 | p. 1-40, 発行日 2014-03 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 群馬大学工学研究科 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Thesis or Dissertation | |||||
| 更新日 | ||||||
| 値 | 2017-03-27 | |||||
