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アイテム
金属アシスト化学エッチングによるSiナノ構造の作製と評価
http://hdl.handle.net/10087/8733
http://hdl.handle.net/10087/873335b368ca-a866-42e9-9659-d11f318af296
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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12801651.pdf (4.1 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2014-07-17 | |||||
| 著者 |
松井, 祐介
× 松井, 祐介 |
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| タイトル | ||||||
| タイトル | 金属アシスト化学エッチングによるSiナノ構造の作製と評価 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 金属アシスト化学エッチング | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Siナノ構造 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 作製 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 評価 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 修士論文 | |||||
| 書誌情報 | p. 1-108, 発行日 2014-03 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 群馬大学工学研究科 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Thesis or Dissertation | |||||
| 更新日 | ||||||
| 値 | 2017-03-27 | |||||
