WEKO3
アイテム
反応性スパッタ法によるInON薄膜の作製とその特性
http://hdl.handle.net/10087/8753
http://hdl.handle.net/10087/87532a99b7f2-6e0e-48cb-b17e-61ec9883c69d
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
08801623.pdf (1.4 MB)
|
|
| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-07-18 | |||||
| 著者 |
笹岡, 敬
× 笹岡, 敬 |
|||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 反応性スパッタ法によるInON薄膜の作製とその特性 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 反応性スパッタ法 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | InON薄膜 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 修士論文 | |||||
| 書誌情報 | p. 1-47, 発行日 2010-03 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 群馬大学工学研究科 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Thesis or Dissertation | |||||
| 更新日 | ||||||
| 値 | 2017-03-27 | |||||
