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アイテム
反応性スパッタ法によるInON薄膜の作製とその特性
http://hdl.handle.net/10087/8753
http://hdl.handle.net/10087/87532a99b7f2-6e0e-48cb-b17e-61ec9883c69d
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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08801623.pdf (1.4 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2014-07-18 | |||||||
| 著者 |
笹岡, 敬
× 笹岡, 敬
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| タイトル | ||||||||
| タイトル | 反応性スパッタ法によるInON薄膜の作製とその特性 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | 反応性スパッタ法 | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | InON薄膜 | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| 内容記述 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 修士論文 | |||||||
| 書誌情報 | p. 1-47, 発行日 2010-03 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 群馬大学工学研究科 | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | Thesis or Dissertation | |||||||
| 更新日 | ||||||||
| 2017-03-27 | ||||||||
