WEKO3
アイテム
適応同定と予測制御を用いた半導体製造用超精密ステージの高速・高応答制御手法
http://hdl.handle.net/10087/8773
http://hdl.handle.net/10087/87737328e49b-fb36-44e9-ae5c-65330ac3ea36
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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06801629.pdf (833.6 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2014-07-22 | |||||
| 著者 |
五箇, 成輝
× 五箇, 成輝 |
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| タイトル | ||||||
| タイトル | 適応同定と予測制御を用いた半導体製造用超精密ステージの高速・高応答制御手法 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 適応同定 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 予測制御 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 半導体 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 超精密ステージ | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 高速制御 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 高応答制御 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| 資源タイプ | thesis | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 修士論文 | |||||
| 書誌情報 | p. 1-103, 発行日 2008-03 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 群馬大学工学研究科 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Thesis or Dissertation | |||||
| 更新日 | ||||||
| 値 | 2017-03-27 | |||||
