WEKO3
アイテム
原子間力顕微鏡による高アスペクト構造計測に向けた探針形状推定手法および観察像補正に関する研究
http://hdl.handle.net/10087/8655
http://hdl.handle.net/10087/8655844316e8-ea05-4c4f-8b39-c6092aeb7afc
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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学位論文 (2.8 MB)
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審査要旨 (73.4 kB)
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論文要旨 (128.5 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-07-01 | |||||
| 著者 |
原田, 恭彦
× 原田, 恭彦 |
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| タイトル | ||||||
| タイトル | 原子間力顕微鏡による高アスペクト構造計測に向けた探針形状推定手法および観察像補正に関する研究 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Estimation of 3-dimensional structure of atomic force microscope (AFM) probe and correction of the AFM image for precise measurement of nano-structure with high aspect ratio using AFM | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 原子間力顕微鏡 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 深針形状推定 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 観察像補正 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 高アスペクト構造計測 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者(ヨミ) | ||||||
| 姓名 | ハラダ, ヤスヒコ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 姓名 | Harada, Yasuhiko | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 学位記番号：工博甲483 | |||||
| 書誌情報 | 発行日 2014-03-25 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 群馬大学工学研究科 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Thesis or Dissertation | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | 群馬大学 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2014-03-25 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 甲第483号 | |||||
| 更新日 | ||||||
| 値 | 2019-12-16 | |||||
