WEKO3
アイテム
電子線リソグラフィによるSiナノワイヤバイオセンサの作製と検出感度の不純物依存性評価
http://hdl.handle.net/10087/13481
http://hdl.handle.net/10087/13481db00331b-c264-424e-85e1-721c21684f9a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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t191d017.pdf (4.0 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
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| 公開日 | 2021-05-18 | |||||||
| 著者 |
岡部, 圭
× 岡部, 圭
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| タイトル | ||||||||
| タイトル | 電子線リソグラフィによるSiナノワイヤバイオセンサの作製と検出感度の不純物依存性評価 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| 内容記述 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 修士論文 | |||||||
| 書誌情報 | 発行日 2021-03 | |||||||
| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | AM | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 群馬大学大学院理工学府 | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | Thesis or Dissertation | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関名 | 群馬大学 | |||||||
