WEKO3
アイテム
半導体加工用テープの粘接着力制御に関する研究
http://hdl.handle.net/10087/8660
http://hdl.handle.net/10087/86605e9cd2ff-cc16-4986-9410-c3b779a1a5f5
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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学位論文 (7.9 MB)
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論文要旨 (144.9 kB)
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審査要旨 (86.9 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2014-07-01 | |||||
| 著者 |
江部, 和義
× 江部, 和義 |
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| タイトル | ||||||
| タイトル | 半導体加工用テープの粘接着力制御に関する研究 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Study on controlling the adhesion level of the tapes for semiconductor fabrication | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | pressure-sensitive adhesives | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | silicon wafer | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | dicing tape | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | UV curing | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | thermosets | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | acrylic copolymer | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | peel strength | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||
| 資源タイプ | doctoral thesis | |||||
| アクセス権 | ||||||
| アクセス権 | open access | |||||
| アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||
| 著者(ヨミ) | ||||||
| 姓名 | エベ, カズヨシ | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 姓名 | Ebe, Kazuyoshi | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 学位記番号：工博乙120 | |||||
| 書誌情報 | 発行日 2014-05-30 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 群馬大学工学研究科 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Thesis or Dissertation | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士（工学） | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | 群馬大学 | |||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2014-05-30 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 乙第120号 | |||||
| 更新日 | ||||||
| 値 | 2019-12-16 | |||||
